一、原理
在板面铜箔表面上贴上一层感光材料(干膜),然后通过黄菲林进行对位曝光,显影后形成线路图形。
二、 工艺流程图:
三、磨板
1. 设备:磨板机
2. 作用: a. 除去Cu表面的氧化物、垃圾等;b. 粗化Cu表面,增强Cu表面与干膜之间的结合力。
3. 流程图:
4. 检测磨板效果的方法:
a. 水膜试验,要求≧15s;
b. 磨痕宽度,要求10~15mm。
5. 磨板易产生的缺陷:开路(垃圾)、短路(甩菲林)。
四、辘板
1. 设备:自动贴膜机、自动粘尘机;
2. 作用:在铜板表面上贴上一层感光材料(干膜);
3. 影响贴膜效果的主要因素:热辘温度、压力、速度;
4. 贴膜产生的缺陷:短路(菲林起皱)、开路(菲林起泡、垃圾);
5. 对于起泡、起皱、垃圾等板需作翻洗处理。
五、黄菲林的制作:
1. 方法:用黑菲林作母片通过曝光,将黑菲林上的图像转移至黄菲林上。
2. 流程:
3. 作用:
a. 曝光的作用,是通过曝光将黑菲林上的图像转移至黄菲林上;
b. 氨水显影机,是将已曝光的黄菲林通过氨水显影机,使其成为清晰、分明的图案;
c. 过保护膜的作用,是在黄菲林的药膜面上贴上一层聚乙酯保护膜防止擦花;
4. 设备/工具:曝光机、氨水机、辘保护机、10倍镜。
六、曝光
1. 设备/工具:曝光机、10倍镜、21Step曝光尺、手动粘尘机;
2. 曝光机,通过黑菲林或黄菲林对位拍板后曝光,将其上的图案转移到板面上;
3. 影响曝光的主要因素:曝光能量(一般用21Step曝光尺测量)、抽真空度;
4. 易产生的缺陷:开路(曝光不良)、短路(曝光垃圾)、崩孔。
七、显影
1. 设备:显影机(冲板机);
2. 作用:通过Na2CO3将未曝光的材料溶解掉后露出铜面形成线路,已曝光的留下来就形成线隙,为下工序电镀作准备;
3.
4. 显影的主要药水:Na2CO3溶液;
5. 影响显影的主要因素:
a. 显影液Na2CO3浓度;
b. 温度;
c. 压力;
d. 显影点;
e. 速度。
6. 易产生的主要缺陷:开路(菲林碎、冲板不尽)、短路(冲板过度)、孔内残铜(穿菲林)。
八、执漏
作用:对已显影后的板进行检查,对有缺陷且不能修理的缺陷进行褪膜翻洗,能修理的缺陷进行修理。
九、洁净房环境要求:
温度:20±3℃ ; 相对湿度:55±5%
含尘量:0.5µm以上的尘粒≤10K/立方英尺
九、安全守则:
1. 在给磨板机、冲板机加药水时必须戴防酸防碱的手套,保养时须戴防毒面罩;
2. 辘板机在正常运行中,严禁将头、手伸进压膜区,以及用手触摸热辘;
3. 曝光时严禁打开机盖,以防UV光对人体辐射。
十、环保事项:
1. 磨板机及冲板机的废水及废液在每班下班之前半个小时经专一的管道排放至废水站进行处理。
2. 干膜之边角料、废纸箱、废纸皮、报废GII、菲林保护膜等由生产部收集起来放在垃圾桶内,由清洁工收走。空硫酸桶、盐酸桶、除泡剂瓶、菲林水桶及片碱袋由生产部依MEI051处理回仓。
|