三氯化铁蚀刻液对铜箔的蚀刻是一个氧化－还原过程。在铜表面Fe³⁺使铜氧化成氯化亚铜。同时Fe³⁺被还原成Fe²⁺。FeCl₃＋Cu →FeCl₂＋CuCl

CuCl具有还原性，可以和FeCl₃进一步发生反应生成氯化铜。

FeCl₃＋CuCl →FeCl₂＋CuCl₂

Cu²⁺具有氧化性，与铜发生氧化反应：

CuCl₂＋Cu →2CuCl

所以，FeCl₃蚀刻液对Cu的蚀刻时靠Fe³⁺和Cu²⁺共同完成的。其中Fe³⁺的蚀刻速率快，蚀刻质量好；而Cu²⁺的蚀刻速率慢，蚀刻质量差。新配制的蚀刻液中只有Fe³⁺，所以蚀刻速率较快。但是随着蚀刻反应的进行，Fe³⁺不断消耗，而Cu²⁺不断增加。当Fe³⁺消耗掉35％时，Cu²⁺已增加到相当大的浓度，这时Fe³⁺和Cu²⁺对Cu的蚀刻量几乎相等；当Fe³⁺消耗掉50％时，Cu²⁺的蚀刻作用由次要地位而跃居主要地位，此时蚀刻速率慢，即应考虑蚀刻液的更新。

在实际生产中，表示蚀刻液的活度不是用Fe³⁺的消耗量来度量，而是用蚀刻液中的含铜量(g/l)来度量。因为在蚀刻铜的过程中，最初蚀刻时间是相对恒定的。然而，随着Fe³⁺的消耗，溶液中含铜量不断增长。当溶铜量达到60g/l时，蚀刻时间就会延长，当蚀刻液中的Fe³⁺消耗40％时，溶铜量达到82.40g/1时，蚀刻时间便急剧上升，表明此时的蚀刻液不能再继续使用，应考虑蚀刻液的再生或更新。

一般工厂很少分析和测定蚀刻液中的含铜量，多以蚀刻时间和蚀刻质量来确定蚀刻液的再生与更新。经验数据为，采用动态蚀刻，温度为50⁰C左右，铜箔厚度为50μm,蚀刻时间5分钟左右最理想，8分钟左右仍可使用，若超过10分钟，侧蚀严重，蚀刻质量变差，应考虑蚀刻液的再生或更新。

蚀刻铜箔的同时，还伴有一些副反应，就是CuCl₂和FeCl₃的水解反应：

FeCl₃＋3H₂O →Fe(OH)₃↓＋3HCl

CuCl₂＋2H₂O →Cu(OH)₂↓＋2HCl

生成的氢氧化物很不稳定，受热后易分解：

2Fe(OH)₃ →Fe₂O₃↓＋3H₂O

Cu(OH)₂ →CuO↓＋H₂O

结果生成了红色的氧化铁和黑色的氧化铜微粒，悬浮于蚀刻液中，对抗蚀层有一定的破坏作用。