| >Fe3+的浓度和蚀刻液的温度
蚀刻液温度越高，蚀刻速率越快，温度的选择应以不损坏抗蚀层为原则，一般以40～50℃为宜。
Fe3+的浓度对蚀刻速率有很大的影响。蚀刻液中Fe3+浓度逐渐增加，对铜的蚀刻速率相应加快。当所含Fe3+超过某一浓度时，由于溶液粘度增加，蚀刻速率反而有所降低。一般蚀刻涂覆网印抗蚀印料、干膜的印制板，浓度可控制在350Be’左右；蚀刻涂覆液体光致抗蚀剂(如骨胶、聚乙烯醇等)的印制板，浓度则要控制在420Be’以上。其重量百分比浓度和比重的关系见表10－5：
表10－5 三氯化铁溶液的组成
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低浓度
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******浓度
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高浓度
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浓度(g/l)
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365
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452 530
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608
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重量百分比浓度
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28
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34 38
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42
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比重
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1.275
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1.353 1.402
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1.450
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波美度
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31.5
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38 42
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45
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>盐酸的添加量
在蚀刻液中加入盐酸，可以抑制FeCl3的水解，并可提高蚀刻速率。尤其是当溶铜量达到37.4g/l后，盐酸的作用更明显。但是盐酸的添加量要适当，酸度太高，会导致液体光致抗蚀剂(如骨胶、聚乙烯醇等)涂层的印制板只能用低酸度溶液。
>蚀刻液的搅拌
静止蚀刻的效率和质量都是很差的。原因是在蚀刻过程中在板面和溶液里会有沉淀生成，而使溶液呈暗绿色，这些沉淀会影响进一步的蚀刻。
采用空气搅拌，喷淋或泼溅操作都可以加快蚀刻反应。蚀刻速率的提高是由于部分Fe2+和Cu1+重新氧化成Fe3+和Cu2+。
4Fe2+＋O2＋4H+ →4Fe3+＋2H2O
4Cu1+＋O2＋4H+ →4Cu2+＋2H2O
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